Description
Matériaux XinghuiLe feutre d'isolation épitaxiale SiC est une solution d'isolation thermique haute-performance spécialement conçue pourFours de croissance épitaxiale SiCdans l'industrie des semi-conducteurs.
Fabriqué à partir de feutre durci à fibres courtes-propriétaires, le matériau offre une efficacité d'isolation, une stabilité chimique et une durabilité à long terme-exceptionnelles, même à des températures de processus extrêmes.
Il se compose d’un ensemble complet de composants d’isolation épitaxiale, comprenant :
- Couvertures isolantes supérieures et inférieures
- Assemblages de feutres graphite semi-annulaires
- Revêtements optionnels :graphite, carbone pyrolytique, ouSiCrevêtement pour une protection renforcée
emballage et livraison
emballage sous vide
Caractéristique du produit
- Spécialement conçu pour les procédés épitaxiaux SiC
- Structure d'assemblage unique pour des performances optimisées
- Résistance exceptionnelle aux chocs thermiques
- Haute résistance à l'érosion et à la corrosion dans les environnements de four agressifs
- Propriétés d'isolation thermique supérieures avec une conductivité thermique inférieure à 0,2 W/(m·K) à 1 000 degrés
Avantage
- Excellente stabilité thermique et longue durée de vie dans des conditions extrêmes
- Solutions de revêtement personnalisables pour répondre aux exigences spécifiques des processus
- Efficacité énergétique améliorée grâce à une conductivité thermique ultra-faible
- Performances fiables dans les environnements exigeants de fabrication de semi-conducteurs
Application du produit
Four épitaxial SiC
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